精密流体控制仪器质量流量控制器(SAM™・Aera™)
描述
概要
质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜，对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构，结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后，我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求，推出高性能数字质量流量控制器，为半导体的制造技术的发展做贡献。>>详情
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